六世紀後半，由耶捨崛多翻譯的《十一面觀音神咒經》中具有廣增《金光明經》中所說的牟才天法和十一面觀音法的出現，其尊形和壇法都有詳細的規定。這一世紀中出現了種種變化觀音及其儀軌，這種急激的觀音信仰，其旺盛的狀態似乎與印度教的“濕婆”信仰有關。

七世紀初戒日王統一北印度，以曲女城為首都，文化復興，並以那蘭陀寺為中心，發揚佛教教學，但戒日王殁後，王朝崩潰，印度再度淪入分裂的時代。玄奘留滯印度(629-645)是在戒日王時代，其旅行記《大唐西域記》卻沒有密教的報告，由此不能肯定其游記，可涵蓋印度佛教的全盤記錄，大概是玄奘意不在密教，其所翻譯的密教經典都是短篇陀羅尼。對玄奘所翻譯的全部資料看來，密教資料的數量少得不足為取，但是當時帶回中國的密教經典可能非常多。這時代造壇、結印、畫像等儀軌已經完成。諸尊法也多樣化。本尊觀、字輪觀和代表本尊的種字，以表征本尊的器物三昧耶形等也有論到。密教修法的個別化或組織化，在這一時期非常發展。

七世紀中葉由智通所翻譯的《清淨觀世音普賢陀羅尼經》中可以看到，佛的右邊置觀音，左邊置普賢的三尊形式。玄奘西域記中有摩羯陀國的提羅釋迦寺裡，佛的左右置多羅與觀音，以配合三尊的記載。又阿地瞿多翻譯的《陀羅尼集經》中有以釋迦為中心，左右配金剛、觀世音菩薩的形式畫像的記載。由此可以窺知佛、蓮、金，三部所開展的密教諸尊其組織化的端緒。《陀羅尼集經》的諸尊，數量增廣，其各尊的手印、真言、供養法都有詳細的范疇。胎藏曼荼羅諸尊的大部分，於此時已構造完成，但尚未組成曼荼羅的全貌，此時的曼荼羅，少了五佛的中尊，只如《金光明經》所說的四佛而已。修法的目的無論如何都是除災第一。諸法之空，十波羅密的修習，或獲得正覺之說，即於其陀羅尼經典中，只微示其脫皮的兆候而已。唯同時期由智通翻譯的《千眼千臂觀世音菩薩陀羅尼神咒經》或玄奘翻譯的陀羅尼經典，都一概提及持誦陀羅尼為獲得無上正等正覺為其目的。七世紀前半期所成立的《蘇息地經》、《蘇婆乎童子經》中具有與修法有關事項的記載。對於息災、增益、調伏的三種護摩法也已經確定其規則。這是由《大日經》繼承的。其中調伏法之一的使用血、毒藥、人骨等以退除惡人的法是由《陀羅尼集經》、《一字佛頂輪王經》所說，同時也是由《金剛頂經》系之降伏法所展開的素材而組織者。

八世紀初由菩提流支介紹的《一字佛頂輪王經》與《大日經》有密切的關聯性。又菩提流支翻譯的《不空絹索真言經》、《大日經》、《真實攝經》都有甚深關系。於曼荼羅上，四世紀以來之四佛，到這時代已經有釋迦牟尼或毗盧遮那佛來匹配，安置其中，成為五佛。胎藏界與金剛界兩系統之五佛自此開始分化。《佛頂輪王經》所說的五佛和諸尊最接近胎藏曼荼羅。又此經敘述了三種法和四佛形象，比《大日經》詳細，另一方面，《不空絹索經》第九卷與三十二卷所說二類五佛，前者五佛是金剛界系，其四菩薩是近胎藏系。後者五佛與金剛界系相同。但是其他諸尊都與胎藏界曼荼羅有親緣關系。當時也有五種陀羅尼集成，皆是古印度人的除厄咒文。經發展而組織成為密教經典。密教儀軌非常雜多，三種法或三種組織，同時也成為五種法的形式，然陀羅尼法是沒有統一性的。到底是屬於《大日經》系或《金剛頂經》系，均無確實的佐證可得。